超高温 真空＆加圧熱処理炉 （CAVPS）
| 使用目的・用途 | ・超高温（2200℃）処理が必要な「セラミックス材」等の焼成をクリーンな雰囲気で行う。 ・「真空」「減圧制御」「大気フロー」「ガス加圧」雰囲気での超高温焼成 |
|---|---|
| 炉体特徴 | ・真空、減圧、大気圧、ガス加圧雰囲気下での超高温焼成を高いエネルギー効率（省エネ）で実現。 ・独自の超高温対応の熱電対採用にて室温から2200℃までの連続温度制御を実現。（放射温度計装備不要） ・処理温度の繰り返し精度が向上。 ・炉体一体（上部炉殻＋断熱層＋発熱体）が上昇下降する独自構造でワークの挿入・取出しは利便性の良い三次元方向からの作業が可能。 ・冷却は竪型構造の特徴を活かすガス対流で、均一で効率的な冷却を実現。 |
仕様の参考例
【熱処理可能温度】2200℃
【処理雰囲気】真空
減圧制御
大気圧フロー
ガス加圧制御（Max;1MPa(abs)）
【処理有効ゾーンサイズ】φ150×H150（mm）～ φ400×H600（mm）